標準名稱(chēng) 　 ：QSY，DSY透明石英玻璃儀器
標準類(lèi)型 　 ：中華人民共和國國家標準
標準號　　?。篔C 181-81
標準發(fā)布單位：國家標準局 發(fā)布
標準正文　?。赫?BR>
本標準主要用于半導體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學(xué)研究等所用透明石英玻璃儀器之技術(shù)要求均可參考本標準執行。
透明石英玻璃儀器有QSY透明石英玻璃儀器和DSY透明石英玻璃儀器兩種。

一、技術(shù)要求

1．透明石英玻璃儀器的化學(xué)成分，熱穩定性，抗結晶性和高溫變色性，均不低于同類(lèi)管材的要求。

2．透明石英玻璃儀器在加工過(guò)程中，應盡量清理應力，必須保證在常溫下逐步升溫至1100℃，在爐內自然冷卻后無(wú)炸裂。

3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀(guān)指標分為二級（見(jiàn)下表）。


項 目 一 級 二級

色 加工過(guò)程中混入（毫米） 0.1- 0.3 0.3- 1.0

斑 允許數量（個(gè)/100厘米[2]） ≤2 ≤2

外 管接口應做到軸向平行徑向垂直加工 1/2管材壁厚 管材壁厚

表面凸凹不大于所用管材壁厚

型 長(cháng)度未注明非重要部位的自由公差（毫米） ±3 ±3　

錐度（比例） 1∶5、1∶10、1∶15 1∶5、1∶10、1∶15

磨口與未加工亮面呈直徑圓周，彎曲度（毫米） ±1 ±2

磨 磨口內亮面（毫米[2]） 不允許 8

口 允許數量（個(gè)/100厘米[2]） 不允許 ≤1

配 塞口的高低公差（毫米） ±3 ±3

合 二通活塞對孔誤差 ≤1/4 ≤1/3

多通活塞對孔誤差 ≤1/2 ≤3/5

水 面積（毫米[2]） ≤10 11- 50

跡 允許數量（個(gè)/100厘米[2]） ≤2 ≤2

云 在加工復雜器件的過(guò)程中不易避免的部位 不允許 不允許

霧 （半透明云霧）

焊 焊接之彎曲處熔合圓滑 必須完全熔合 必須熔合

折料和料疙瘩處厚度 在壁厚公差范圍內 在壁厚公差范圍內

接 炸裂紋 不允許 不允許

析晶和指紋印 不允許 不允許


注：
①密封性檢驗方法：將水盛入磨口儀器中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，倒翻10次，每次在10秒內，用濾紙擦試無(wú)滲出水液為封口性能合格。
②QSY透明石英玻璃儀器的非主體部分，在不影響性能的情況下，可用外徑D19

毫米以下的DTS1透明石英玻璃管（棒）。


4．透明石英玻璃儀器，非加工部位（允許加工后達到要求）的技術(shù)要求如下。

（1）QSY透明石英玻璃儀器：

儀器的一級品外觀(guān)指標不低于相應管材的二級品；

儀器的二級品外觀(guān)指標不低于租應管材的三級品。

（2）DSY透明石英?，攦x器：

儀器的一級品外觀(guān)指標不低于相應管材的二級品；

儀器的二級品外觀(guān)指標不低于相應管材的四級品。