【中玻網(wǎng)】低溫多晶矽薄膜電晶體液晶平面顯示器（LTPSTFTLCD），指其TFT中半導體薄膜的結晶形態(tài)是多結晶（Polycrystalline）,并非是非結晶（AMORPHOUS）。
　　
　　LTPSTFTLCD的特點(diǎn)：
　　
　　1、載體的移動(dòng)度為非晶矽的300倍2、低耗電3、高亮度4、高解析度5、輕薄短小6、高品質(zhì)7、無(wú)缺的系統整合
　　
　　LTPS技術(shù)所需要的環(huán)境需要的無(wú)塵，通過(guò)ISO14644-1標準定義，我們根據制程的需要分為千級無(wú)塵室和百級無(wú)塵室。
　　　　
　　農業(yè)生產(chǎn)體系物細菌會(huì )在環(huán)境中急速的繁衍，大概在0.1un-0.3um粒徑并且會(huì )附著(zhù)在灰塵顆粒上，當我們在整個(gè)制程中不加以控制細菌繁衍或灰塵時(shí)，當農業(yè)生產(chǎn)體系物細菌大到一定程度會(huì )成為導體，對LTPS的損傷是致命的，損失也是相當慘重的。
　　
　　該如何有效控制灰塵或者農業(yè)生產(chǎn)體系物細菌呢？
　　
　　采用空調過(guò)濾系統+無(wú)塵室系統
　　　　
　　無(wú)塵室系統
　　
　　采用風(fēng)淋系統+FFU等凈化無(wú)塵設備搭配使用，若對靜電有嚴格要求，還應在進(jìn)入無(wú)塵室區域前段加裝防靜電測試儀和無(wú)塵洗手烘干機。
　　
　　百級無(wú)塵室控制的灰塵顆粒粒徑在0.1-0.12um,千級無(wú)塵室控制灰塵顆粒粒徑在0.3um,控制的數量參考ISO14644-1.
　　
　　那么在無(wú)塵系統中是不是換氣次數約多越好？
　　
　　總體上看換氣次數越多，對整個(gè)無(wú)塵環(huán)境的等級控制會(huì )變好，但是我們在關(guān)注換氣次數的同時(shí)會(huì )忽略另外一個(gè)參數----流速！
　　
　　在百級無(wú)塵室中，流速決定了效率高過(guò)濾器對灰塵或者農業(yè)生產(chǎn)體系物細菌的捕捉方式，也會(huì )影響到捕捉效果，一般設定的流速為0.35-0.65m/s之間，是效率高過(guò)濾器抓捕效率較高的流速段，所以在調整整個(gè)無(wú)塵環(huán)境換氣次數時(shí)，不應超出這個(gè)流速范圍！